İnce Filmlerin Optik Özelliklerinin Elipsometrik Yöntemle Belirlenmesi

Authors : Gültekin ÇELİK, Haluk ŞAFAK

Pages : 31-39

View : 14 | Download : 10

Publication Date : 2002-12-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada ince fimlerirı optikseI karakterizasyonunda sıkça kullanılan polarimetrik bir yöntem olan Elipsometri tekniği incelenmiştir. Yapılan çalışmada bir elektromagnetik dalganın elipsometre düzeneği içersindeki davranışı ayrıntılı olarak ele alınmıştır. Daha sonra elipsometrik parametreler ve denklemler tanımlanmış ve her hangi bir ince film için kırılma indisi ve soğurma katsayısının elipsometrik yöntemle nasıl hesaplandığı açıklanmıştır.
Keywords : İnce Film, Elipsometri, Jones Hesaplaması