EVALUATION OF THE RadFET RADIATION SENSOR PERFORMANCE IN 18 MV-EXTERNAL BEAM

Authors : Berk MORKOÇ, Ayşegül KAHRAMAN, Dinçer YEĞEN, Ercan YILMAZ

Pages : 309-318

Doi:10.17482/uumfd.558166

View : 16 | Download : 7

Publication Date : 2019-12-31

Article Type : Research Paper

Abstract :Lineer hızlandırıcıdan yayılan 18 MV’luk X-ışınları ile ışınlanan RadFET’lerin radyasyon cevapları, eşik voltaj kaymaları ve tuzak yoğunlukları üzerinden incelenmiştir. Işınlamadan önce ve sonra eşik voltajları ölçülerek karşılaştırılmıştır. Çeşitli teknikler kullanılarak kapı oksitinde ve oksit/silikon arayüzeyinde hesaplanan tuzak yoğunlukları değerlendirilmiştir. ΔVth – D grafiği, yaklaşık 2 Gy’e kadar mükemmel doğrusallık göstermiştir. RadFET’in radyasyon cevabı, elektrik alan perdelemesi tarafından uyarılan oksit tuzak yüklerinin artmasıyla 2 Gy sonrasında doğrusallıktan sapmaya başlamıştır. Deneysel sonuçlar, RadFET’ler için verilen fit fonksiyonuyla iyi bir uyum içindedir. Işınlama sonucunda oluşan sabit ve anahtarlama tuzakları incelenmiştir. Sabit tuzakların yoğunluğu, anahtarlama tuzaklarının yoğunluğundan önemli bir miktar daha yüksek olarak bulunmuştur. Sıfır kapı voltajı altında ölçülen eşik voltajlarından yüzde zayıflama aralığı %0.004 – %1.235 olarak hesaplanmıştır.
Keywords : RadFET, Radyasyon Cevabı, Radyoterapi