SPRAY PYROLYSİS YÖNTEMİYLE ÜRETİLEN IN2O3 FİLMLERİNİN YAPISAL VE OPTİK ÖZELLİKLERİ

Authors : Evren TURAN, Esra ZEYBEKOĞLU

Pages : 432-446

Doi:10.21205/deufmd.2017195644

View : 8 | Download : 7

Publication Date : 2017-05-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Geçirgen iletken oksitlerden biri olan indiyum oksit (In2O3) yarıiletken filmleri spray pyrolysis yöntemiyle 300, 350 ve 400 °C taban sıcaklıklarında cam tabanlar üzerine elde edilmiştir. X‐ışını kırınım desenleri incelendiğinde, numunelerin cisim merkezli kübik In2O3 kristal yapısına sahip olduğu ve taban sıcaklığı artışının filmlerin yapısal özelliklerini iyileştirdiği belirlenmiştir. Alan emisyon taramalı elektron mikroskobu görüntülerinden, elde edilen filmlerin yüzeye iyi tutunduğu, homojen bir dağılım sergilediği ve taneli bir yapılanmanın olduğu saptanmıştır. Geçirgenlik ölçümlerinden numunelerin direkt bant geçişine sahip olduğu ve bant aralığı değerlerinin 3,38 ‐ 3,67 eV aralığında değiştiği belirlenmiştir. Numunelerin kırılma indisi ve sönüm katsayısı spektrumundan envelope yöntemi yardımıyla incelenmiştir. In2O3filmlerinin dielektrik sabitleri (n, k, ε1 ve ε∞), plazma frekansı ωpve taşıyıcı yoğunluğu Nopt gibi optik parametreleri de belirlenmiştir
Keywords : İndiyum Oksit, Spray Pyrolysis, Envelope Yöntemi, Dielektrik Sabitler