Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Authors : Tamer ŞİMŞEK, Kadir GÖKŞEN

Pages : 84-95

View : 10 | Download : 6

Publication Date : 2017-01-30

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu çalışmada, metan (CH 4 ) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH 4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH 4 gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.
Keywords : Amorf ince filmler, Optik bant aralığı, Geçirgenlik spektrokopisi