Farklı Amaçlar İçin Kullanılabilecek n‐Tipi Silikon Kaplı Nano Gözenekli Membranların Hazırlanması

Authors : Kasım OCAKOĞLU

Pages : 468-473

View : 15 | Download : 9

Publication Date : 2016-04-30

Article Type : Research Paper

Abstract :Homojen ve tekdüze gözenek çapına sahip nano gözenekli anodik aluminyum oksit kalıplar (AAO) kolay üretim tekniği açısından bir çok uygulama alanında geniş yer bulmuştur. AAO kalıplarının yüzeylerinin farklı fonsiyonel gruplar ile modifiye edilmesi, bu yapıların kararlılıklarını arttırdığı gibi uygulama alanlarını da genişletmektedir. Bu çalışmada, öncelikle düzenli nano kanallara sahip AAO membranlar anodizasyon tekniği ile hazırlanmıştır. Zira, ticari olarak kullanılan AAO membranlarda, düzenli olmayan nano kanal yapılarından dolayı uygulama açısından sorunlarla karşılaşılmaktadır. AAO nanogözenekli yapıların potansiyel uygulamalarının arttırılması için yapılar Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi (PECVD) yardımıyla n‐tipi silikon ile kaplanmıştır. AAO membranların n‐tipi silikon ile kaplanma aşaması öncesinde anodizasyon işlemine maruz bırakılarak düzenli nano kanallar elde edilmiştir. Ardından, PECVD yöntemi ile AAO membran nano‐gözenek yüzeylerinin ve nano kanalların iç duvarlanının yaklaşık 40 nm kalınlığında bir n‐tipi silikon tabakası ile kaplanması sağlanmıştır. Bu membranlar AFM, SEM, EDX ve UV‐Görünür bölge absorpsiyon spektroskopisi ile karakterize edilmiştir. Elde edilen membranların 300‐700 nm arasında absorbsiyona sahip olması, mebranların n‐tipi silikon ile kaplandığını ayrıca teyit etmektedir. Elde edilen şeffaf yapıdaki, n‐tipi silikon kaplı membranlar, başta fotovoltaik uygulamalar olmak üzere farklı amaçlara yönelik nano cihaz yapımında kullanılabilir.
Keywords : Nano Gözenekli Membran, n‐Tipi Silikon, Anodik Alüminyum Oksit Membran, AAO, Yarı‐iletken, Nanoaygıt tasarımı