Magnetron Sıçratma Yöntemi ile Büyütülen Elmas Benzeri Karbon Filmlerin Adezyon ve Çoklu-Çizik Test Davranışlarının Araştırılması

Authors : Hikmet ÇİÇEK

Pages : 209-217

Doi:10.21597/jist.407877

View : 8 | Download : 6

Publication Date : 2018-03-31

Article Type : Research Paper

Abstract :Elmas benzeri karbon (DLC) ince filmler sahip oldukları düşük sürtünme katsayısı, yüksek sertlik, yüksek aşınma dayanımı ve kimyasal inaktiflik özelliklerinden dolayı günümüzde çok yaygın olarak çok çeşitli taban malzemeler üzerine kaplanmaktadır. Bu tür kaplamalarda önemli olan bir husus ise kaplamanın taban malzemeye olan adezyonu/yapışkanlığıdır. Bu çalışmada DLC filmler inconel taban malzeme üzerine adezyonu artırmak ve daha yüksek dayanım elde etmek için TiN ve TiCN aratabakalar kullanılarak magnetron sıçratma yöntemi ile kaplanmıştır. Fimlerin yapısal, mekanik, adezyon ve yorulma benzeri davranışları karakterize edildi. Bu çalışmada filmlerin yapısal ve kimyasal analizleri için X-ray difraktometre (XRD) ve taramalı elektron mikroskopu (SEM) kullanıldı. Mekanik özellikler için mikro-sertlik, adezyon ve yorulma benzeri özellikleri için ise artan yüklü çizik test ve 100, 250 ve 500 çevrimlik çoklu-çizik testleri filmlere uygulandı. Filmin mikrosertlik değeri 39.8 GPa olarak tespit edildi. Adezyon testlerine göre DLC filmde kritik yük değeri 22 N olarak belirlendi ve 25N yüke kadar film taban malzeme üzerinde dayanımını sürdürdü. Çoklu çizik test sonuçlarına göre TiN/TiCN aratabaka ile büyütülen DLC filmlerin 250 çevrim sonuna kadar çok iyi dayanım gösterdiği gözlenmiştir.
Keywords : Adezyon, DLC, magnetron sıçratma