Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Authors : Melik DÖLEN, Halit KAPLAN

Pages : 1-10

View : 10 | Download : 7

Publication Date : 2005-05-01

Article Type : Research Paper

Abstract :Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlara da bu makalede yer verilmektedir.
Keywords : mikro elektro mekanik sistemler