ATOMİK KATMAN BİRİKTİRME (ALD) CİHAZLARI VE ÇEŞİTLERİNDEKİ GELİŞMELER

Authors : Alper UĞUR, Nuran AY

Pages : 590-605

Doi:10.21923/jesd.392032

View : 10 | Download : 7

Publication Date : 2018-12-11

Article Type : Review Paper

Abstract :Malzemelerin yüzey özelliklerinin değiştirilmesi ile elde edilen ürünlere kendi özelliklerinin yanında farklı işlevsellikler kazandırılabilmektedir. Yüzey teknolojilerindeki gelişmeler yeni ürünlerin eldesini ve üretim süreçlerinin gelişmesini de sağlamaktadır. ALD yöntemi çok farklı uygulama alanlarında başarı ile uygulanma potansiyeline sahiptir. Global ALD endüstrisi market araştırmaları 2017-2025 yılları arasında yıllık %12’lik büyüme öngörmektedir. Bu makalede ince film biriktirme tekniklerinden biri olan atomik katman biriktirme insert ignore into journalissuearticles values(ALD); yönteminde kullanılan cihazların tarihsel gelişimi ve gelişen ALD çeşitleri incelenmiştir. Çalışma genel ALD çeşitlerinin yanında doğrudan yazmalı insert ignore into journalissuearticles values(Direct write); ve rulodan ruloya insert ignore into journalissuearticles values(Roll to roll); gibi yeni ALD çeşitleri hakkında bilgi vermektedir. 
Keywords : İnce film kaplama, Atomik katman biriktirme ALD, , Reaktör, Akışkan yatak AY,