İNDİRGENMİŞ GRAFEN OKSİT ARAYÜZEY TABAKALI METAL OKSİT YARIİLETKEN KAPASİTÖRÜN DİELEKTRİK ÖZELLİKLERİNİN BELİRLENMESİ

Authors : İbrahim KARTERİ

Pages : 387-393

Doi:10.28948/ngumuh.341185

View : 9 | Download : 8

Publication Date : 2017-07-31

Article Type : Research Paper

Abstract :    Bu çalışmada, İndirgenmiş Grafen Oksit insert ignore into journalissuearticles values(RGO); arayüzey oksit tabakalı Au/RGO/p-Si metal-oksit-yarıiletken insert ignore into journalissuearticles values(MOS); kapasitörün dielektrik özelliklerinin frekans bağımlılığı 200, 300, 500 ve 700 kHz frekanslarda deneysel kapasitans-voltaj insert ignore into journalissuearticles values(C-V); ve iletkenlik-voltaj insert ignore into journalissuearticles values(G/w-V); ölçümleri alınarak incelendi. Ayrıca MOS kapasitörün dielektrik sabiti insert ignore into journalissuearticles values( ε `);, dielektrik kayıp insert ignore into journalissuearticles values( ε `);, dielektrik kayıp açısı insert ignore into journalissuearticles values(tan δ );, ac elektrik iletkenlik insert ignore into journalissuearticles values( σ ac );, reel ve imajiner elektrik modülü insert ignore into journalissuearticles values( Μ ` ve Μ `); değerleri 10 kHz-1 MHz frekans aralığında belirlendi. Elde edilen sonuçlar dielektrik parametrelerin frekansa bağımlı olduğunu açık bir şekilde göstermektedir. ε` ve ε`` artan frekansla azalmaktadır. σ ac , Μ ` ve Μ ` değerleri ise artan frekans ile artmaktadır.
Keywords : RGO, MOS kapasitör, kapasitans ve iletkenlik ölçümleri, dielektrik özellikler